• 您現在的位置是:首頁 >動態 > 2023-07-23 17:52:10 來源:

    三氟化氮化學式(三氟化氮)

    導讀 大家好,我是小夏,我來為大家解答以上問題。三氟化氮化學式,三氟化氮很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧!1、三氟化氮在常溫下是一...

    大家好,我是小夏,我來為大家解答以上問題。三氟化氮化學式,三氟化氮很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧!

    1、三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體,是一種強氧化劑。

    2、三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純三氟化氮具有優異的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

    本文到此講解完畢了,希望對大家有幫助。

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