射頻濺射法（關于射頻濺射法簡介）

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1、 射頻濺射法，利用核能粒子轟擊靶材，使靶材原子或分子被濺射出來并沉積到襯底表面的工藝。

2、技術優點是：（1） 具有很高的鍍膜速度；（2） 適用于多種涂覆材料，包括各種合金及化合物；（3） 適用于不同的集材，如塑料、瓷和金屬；（4） 沉積速率高，適合大面積薄膜的制備。

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