射頻濺鍍（關于射頻濺鍍簡介）

大家好,小金來為大家解答以上的問題。射頻濺鍍，關于射頻濺鍍簡介這個很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧！

1、 用交流電源代替直流電源就構成了交流濺射系統，由于常用的交流電源的頻率在射頻段，如13.56MHz，所以稱為射頻濺鍍。

2、在直流射頻裝置中，如果使用絕緣材料靶，轟擊靶面的正離子會在靶面上累積，使其帶正電，靶電位從而上升，使得電極間的電場逐漸變小，直至輝光放電熄滅和濺射停止。

3、所以直流濺射裝置不能用來濺射沉積絕緣介質薄膜。

本文到此分享完畢，希望對大家有所幫助。