您現在的位置是:首頁 >生活 > 2024-02-18 19:43:32 來源:
黃光制程清洗方式有幾種類型的(黃光制程)
導讀 大家好,我是小夏,我來為大家解答以上問題。黃光制程清洗方式有幾種類型的,黃光制程很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧!1、微影 (...
大家好,我是小夏,我來為大家解答以上問題。黃光制程清洗方式有幾種類型的,黃光制程很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧!
1、微影 (Lithography) 技術是將光罩 (Mask) 上的主要圖案先轉移至感光材料上,利用光線透過光罩照射在感光材料上,再以溶劑浸泡將感光材料受光照射到的部份加以溶解或保留,如此所形成的光阻圖案會和光罩完全相同或呈互補。由于微影制程的環境是采用黃光照明而非一般攝影暗房的紅光,所以這一部份的制程常被簡稱為"黃光"。
2、由于IC晶方內之圖案均有賴光阻劑(Photo resist)覆蓋在芯片上,再經曝光,顯影而定型;而此光阻劑遇光線照射,尤其是紫外線(UV)即有曝光之效果,因此在顯影完畢以前之生產,均宜遠離此類光源。黃光之光波較長,使光阻劑曝光之效果很低,因此乃作為顯影前之照明光源。
3、http://www.wshkingpcb.cn/qywh/ShowArticle.asp?ArticleID=5670
4、http://www.shebei114.cn/info/detail/50-4669.html
本文到此講解完畢了,希望對大家有幫助。