您現在的位置是:首頁 >精選問答 > 2022-09-14 02:30:02 來源:
干式蝕刻技術(關于干式蝕刻技術介紹)
導讀 大家好,笑笑來為大家解答以上的問題。干式蝕刻技術,關于干式蝕刻技術介紹這個很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧!1、 干式蝕刻(
大家好,笑笑來為大家解答以上的問題。干式蝕刻技術,關于干式蝕刻技術介紹這個很多人還不知道,現在讓我們一起來看看吧!
1、 干式蝕刻(又稱為等離子蝕刻)是最常用的蝕刻方式,其以氣體作為主要的蝕刻媒介,并藉由等離子體能量來驅動反應。
2、在半導體的制程中,蝕刻被用來將某種材質自晶圓表面上移除。
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