射頻等離子體增強化學氣相沉積（關于射頻等離子體增強化學氣相沉積簡介）

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1、 射頻等離子體增強化學氣相沉積。

2、反應是由平行電極之間的射頻產生的等離子體所激活的化學氣相沉積。

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