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射頻容性耦合等離子體放電中電非對稱效應機理的研究（關于射頻容性耦合等離子體放電中電非對稱效應機理的研究簡介）
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1、 《射頻容性耦合等離子體放電中電非對稱效應機理的研究》是依托大連理工大學,由張鈺如擔任醒目負責人的青年科學基金項目。
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