氦氣測漏儀 氦氣濃度（氦氣測漏儀）

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1、真空箱氦檢漏，根據氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能高精度、迅速準確的判斷工件的泄露情況。

2、操作者把工件放在真空箱內，將工件接口與真空箱內的快速接頭進行連接，在真空箱門關閉后，系統能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程，生產節拍快，檢漏精度高。

3、工藝流程編輯A1：安裝工件-----關真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內充高壓氮氣-----大漏及強度檢測；B1：若A1檢測不通過，則系統報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止；B2：若A1檢測通過，放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內的氦氣本底抑零-----工件內充入氦氣-------真空模式，微漏檢測；C1：若B2檢測不通過，則系統報警-----循環檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止；C2：若B2檢測通過，真空箱內充入大氣，同時工件內氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

4、系統特征及優點編輯高壓氮氣強度檢測真空箱內進行，保護操作者安全2、真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、高精度。

5、3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序，可隨時校準檢漏儀的靈敏度、準確度。

6、4、特殊設計的檢測程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

7、5、專利技術的密封接頭，減少誤判。

8、6、電氣控制系統的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統的操作安全及可靠運行。

9、7、PLC控制，使系統運行清晰明了，實現了實時監測及控制。

10、?一、為什么要檢漏：泄漏和密封相對應很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。

11、如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。

12、另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。

13、如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

14、這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

15、二、泄漏程度的量化：氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。

16、氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。

17、將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

18、氦檢漏基本工作原理：用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能高精度，迅速準確判斷工件的泄漏情況。

19、基本操作：操作工將工件放在真空箱內，真空箱與工件自動密封，系統可自動完成大漏檢測、抽真空充氦、檢漏、回收整個過程，生產節拍快，檢漏精度高。

20、精度可達5*10-12mbr.L/S 。

21、氦氣檢漏儀的工作原理：主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成.離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子.析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上.收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器.通過測量離子流就可知漏率.冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置。

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